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小型中走絲-壓力傳感器的發(fā)展方向-仁光智能

欄目:中走絲線切割資訊 發(fā)布時間:2020-11-27 作者: 仁光小陳 來源: 仁光智能 瀏覽量: 1205
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小型中走絲,北達(dá)科他州立大學(xué)的KAABI L等人建立了拋物線型空腔的電容式絕對壓力傳感器的理論模型。為了實現(xiàn)40 Pa以下的絕對壓力的測量,他們設(shè)計了一種相應(yīng)的調(diào)節(jié)器,可以實現(xiàn)壓力的直接讀取

小型中走絲,北達(dá)科他州立大學(xué)的KAABI L等人建立了拋物線型空腔的電容式絕對壓力傳感器的理論模型。為了實現(xiàn)40 Pa以下的絕對壓力的測量,他們設(shè)計了一種相應(yīng)的調(diào)節(jié)器,可以實現(xiàn)壓力的直接讀取,分辨率達(dá)到1 Pa。

小型中走絲,調(diào)節(jié)器的工作原理也是首先將電容值通過振蕩器轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的頻率值,然后利用一個BCD計數(shù)器和譯碼器將頻率值直接轉(zhuǎn)變?yōu)閴毫χ?。調(diào)節(jié)器的實現(xiàn)簡單易行,試驗結(jié)果與理論結(jié)果吻合得很好。


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小型中走絲,壓力傳感器的發(fā)展方向,從改進(jìn)傳感器方面來說,現(xiàn)有研究都集中在優(yōu)化傳感器結(jié)構(gòu)與改良工藝方面,發(fā)掘新材料的報道卻鮮有。所以發(fā)掘楊氏模量低和介電常數(shù)大的新材料應(yīng)用于小量程MEMS電容式壓力傳感器是很有希望的一個研究方向。

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小型中走絲可動極板采用楊氏模量低的材料可以提高其形變量,介電層采用介電常數(shù)大的材料可以增大傳感器的輸出電容式值。有很多高分子聚合物(Polymers)材料滿足這樣的設(shè)計要求,比如聚對二甲苯(parylene)、聚二甲基硅氧烷(PDMS)、SU-8、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚已酸內(nèi)酯(polycaprolactone)、聚苯乙烯(pplystyrene)等。在這些材料中,PDMS不僅可以軟刻蝕,而且具有鑄造高保真的優(yōu)點,因而最適合用來制作壓力傳感器。其楊氏模量可調(diào),約750 kPa。

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