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錐度中走絲-靈敏度的提高-仁光智能

欄目:中走絲線切割資訊 發(fā)布時(shí)間:2020-11-26 作者: 仁光小陳 來(lái)源: 仁光智能 瀏覽量: 1342
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錐度中走絲,傳感器的靈敏度可以通過(guò)增加可動(dòng)極板的面積和減小極板間距來(lái)增加,動(dòng)態(tài)范圍可以通過(guò)減小力敏薄膜的面積來(lái)提高。增加壓敏薄膜的另外一個(gè)好處是可動(dòng)極板無(wú)需暴露在外界環(huán)境中來(lái)獲取壓力變化,電容結(jié)構(gòu)可以完全密閉封裝并且與力敏薄膜電隔離。


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錐度中走絲,工藝方面,也是采用淀積多晶硅來(lái)形成力敏薄膜(厚度在1.0~1.5 μm之間)和平行板電容式器極板(厚度在2~3.5 μm之間),淀積氧化層作為犧牲層形成空腔。傳感器的靈敏度很高,在小于1 000 Pa的范圍內(nèi)靈敏度仍有10 aF/Pa。

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錐度中走絲,電容測(cè)量電路優(yōu)化,隨著測(cè)試技術(shù)的發(fā)展,國(guó)內(nèi)外的科研工作者在微小電容測(cè)量電路的設(shè)計(jì)方面已經(jīng)取得了很大進(jìn)步,提出了許多新的測(cè)量方法及電路結(jié)構(gòu),應(yīng)用于不同的微小電容讀取場(chǎng)合。但大部分測(cè)量方法的電路精度和集成化程度比較低,還不能很好地達(dá)到在實(shí)際應(yīng)用方面的要求。

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